物理所“工程师之家”论坛第十九期讲座
2017-06-15
文章来源: 工程师之家
  2017年 6月13日,物理所“工程师之家”论坛第十九期讲座在M楼253会议室举行。本次讲座邀请美国Kurt J. Lesker公司的技术总监J.R. Gaines先生讲授真空技术的原理、概念与真空镀膜设备的搭建和方法。
  本次讲座是Lesker公司大学环球讲习班的一部分,它的目的主要是希望参加者能够对真空系统设计、建模以及物理气相沉积薄膜技术有全面的了解。Gaines先生首先介绍了真空技术的基本概念和工作原理,及真空系统设计对热蒸发、电子束蒸发、DC和射频溅射沉积薄膜技术的影响。然后讲解了如何制作一个全面和紧凑的真空系统,薄膜沉积系统的基本设计和操作,以及这些设计方案是如何影响薄膜性能。针对薄膜沉积技术中的一些问题如沉积速率、膜的均匀性、形态和密度进行了讨论,并举例说明材料特性和沉积条件如何对薄膜形貌影响。 
  本次培训班吸引了来自物理所技术支撑人员、研究人员及研究生等四十余人参加,充分显现了大家对凝聚态物理前沿技术的极大兴趣。讲座结束后,大家进行了积极、热烈的讨论和交流,使大家对真空技术在凝聚态物理中的应用有了深入的了解,各方面受益匪浅。本次特邀国外技术专家为“工程师之家”论坛做凝聚态物理前沿技术专题讲座是一个新的尝试,并取得很好的交流效果。
  最后,由“工程师之家”召集人陆俊副主任工程师为报告人颁发“工程师之家”论坛纪念奖牌。
  本次活动是2017年“工程师之家”第2次技术论坛,后面还将陆续推出包括物性测量等领域前沿技术讲座,欢迎大家关注,并访问浏览“工程师之家”网站:http://tech.iphy.ac.cn/ 了解相关信息、提出建议和进行技术交流。
J.R. Gaines先生做报告
J.R. Gaines先生展示图片
报告现场
颁发纪念牌